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Einteilung der Prozessgase
| Symbol | Komponenten in Volumen-Prozent (nominell) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Haupt- | Unter- | oxidierend | inert | reduzierend | reaktionsträge | ||
| gruppe | gruppe | CO2 | O2 | Ar | He | H2 | N2 |
| I | 1 | 100 | |||||
| 2 | 100 | ||||||
| 3 | Rest | 0,5≤He≤95 | |||||
| M1 | 1 | 0,5≤CO2≤5 | Rest | 0,5≤H2≤5 | |||
| 2 | 0,5≤CO2≤5 | Rest | |||||
| 3 | 0,5≤O2≤3 | Rest | |||||
| 4 | 0,5≤CO2≤5 | 0,5≤O2≤3 | Rest | ||||
| M2 | 0 | 5≤CO2≤15 | Rest | ||||
| 1 | 15≤CO2≤25 | Rest | |||||
| 2 | 3≤O2≤10 | Rest | |||||
| 3 | 0,5≤CO2≤5 | 3≤O2≤10 | Rest | ||||
| 4 | 5≤CO2≤15 | 0,5≤O2≤3 | Rest | ||||
| 5 | 5≤CO2≤15 | 3≤O2≤10 | Rest | ||||
| 6 | 15≤CO2≤25 | 0,5≤O2≤3 | Rest | ||||
| 7 | 15≤CO2≤25 | 3≤O2≤10 | Rest | ||||
| M3 | 1 | 25≤CO2≤50 | Rest | ||||
| 2 | 10≤O2≤15 | Rest | |||||
| 3 | 25≤CO2≤50 | 2≤O2≤10 | Rest | ||||
| 4 | 5≤CO2≤25 | 10≤O2≤15 | Rest | ||||
| 5 | 25≤CO2≤50 | 10≤O2≤15 | Rest | ||||
| C | 1 | 100 | |||||
| 2 | Rest | 0,5≤O2≤30 | |||||
| R | 1 | Rest | 0,5≤H2≤15 | ||||
| 2 | Rest | 15≤H2≤50 | |||||
| N | 1 | 100 | |||||
| 2 | Rest | 0,5≤N2≤5 | |||||
| 3 | Rest | 5≤N2≤50 | |||||
| 4 | Rest | 0,5≤H2≤10 | 0,5≤N2≤5 | ||||
| 5 | 0,5≤H2≤50 | Rest | |||||
| O | 1 | 100 | |||||
| Z | Mischgase mit Komponenten, die nicht in der Tabelle aufgeführt sind oder Mischgase mit einer Zusammensetzung außerhalb der angegebenen Bereiche. |